(57)
Реферат
Способ уменьшения сопротивления тонких прозрачных пленок диоксида олова, для изготовления дисплеев, светоизлучающих диодов, затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник и защитных покрытий.
Получен технический результат, заключающийся в том, что уменьшено сопротивление прозрачных пленок диоксида олова в 1.5 раза, при уменьшении коэффициента пропускания на 0,2-0,5%.
Предлагаемый способ основан на получении тонких пленок диоксида олова и обработке водородной плазмой, включающий приготовление раствора пятиводного тетрахлорида олова в этаноле, нанесение раствора на подложку, сушку на воздухе при комнатной температуре с последующей термообработкой при температуре 400°С в течении 15 минут и обработку низкотемпературной водородной плазмой тлеющего разряда в течение 3 минут мощностью 12,5 Вт с частотой 27,2 МГц.
(54)
Название
Способ уменьшения сопротивления тонких прозрачных пленок SnO2
(73)
Патентообладатель
Товарищество с ограниченной ответственностью «Физико-технический институт» (KZ)
(72)
Автор(-ы)
Дмитриева Елена Анатольевна Dmitriyeva Yelena Anatolyevna(KZ); Лебедев Игорь Александрович Lebedev Igor Aleksandrovich(KZ); Бондарь Екатерина Александровна Bondar Yekaterina Aleksandrovna(KZ); Федосимова Анастасия Игоревна Fedosimova Anastasiya Igorevna(KZ); Серикканов Абай Серикканович Серикканов Абай Серикканович Serikkanov Abay Serikkanovich(KZ); Томпакова Назгуль Меиркановна Tompakova Nazgul Meirkanovna(KZ)